フィルム

蒸着フィルム検査（AIRIS-UC160）

真空蒸着機の中に光源を設置。
窓の外側にカメラを設置することで透過にて検査します。窓枠がある場合は、枠が検査に影響しないようにカメラ台数と設置位置を設定します。

※LED素子は真空中では使用できないため、LED光源を専用BOXに入れ、隔圧する必要があります。

ロール端面検査（FITS-3）

検査項目例；毛羽立ち・端面凹凸・汚れ・耳立ち・毛髪

ロールを回転させた状態で、斜め方向から端面にLED光源を入射させ、ライセンサカメラで撮影し欠陥を検出します。定量化された検査が可能なだけでなく、スリット後の端面検査を記録できることが特長です。

フィッシュアイカウンター（OMI-FE）

フィルム抜き取り評価用フィッシュアイ微小欠点の定量評価に活用いただけます。10～100μ分解能、A4～A3サイズと幅広く対応実績あり。複数光学系での評価や、欠点種別に個数を集計することも可能です。

マクロ光学検査（OMI-UL/OMI-SP）

２軸で動き、電子部品材料、絶縁シート、電池関連や半導体関連材料などの1～１０μ高分解能凹凸欠陥、キズ検査と顕微鏡３D測定の検査支援システムとして活用いただけます。